DLC Diamond-ähnliche Beschichtung ist ein metastabiler amorpher Dünnfilm, der die hochwertigen Eigenschaften von Diamant und Graphit aufweist und die Vorteile einer guten Härte, der thermischen Leitfähigkeit, des geringen Reibungskoeffizienten, der exzellenten elektrischen Isolationsleistung, der hohen chemischen Stabilität usw. und den Bereichen maschinerische Herstellung, Biomedizin, Elektronikgeräte und Elektronikgeräte und Gezteile aufweist. Die DLC -Beschichtung wird hauptsächlich durch physikalische Dampfphasenakkumulationsmethode und chemische Dampfphasenakkumulationsmethode hergestellt und durch spezielle Akkumulationsgeräte hergestellt. Das Folgende ist eine kurze Einführung in die fünf Teile, aus denen die Beschichtungsabscheidungsausrüstung besteht.
1. Heiz- und Wasserkühlsystem
Das Heizsystem und das Wasserkühlsystem sind gleichmäßig um den Akkumulationsraum verteilt, und die Heiztemperatur, die Geschwindigkeit und das Wasservolumen sind steuerbar und einstellbar, und das entsprechende Alarmgerät ist installiert. Das rotierende System befindet sich am Boden der Akkumulationskammer und wird durch isolierende Keramik isoliert, und die Drehzahl ist steuerbar und einstellbar.
2. Vakuumsystem
Das Vakuumsystem besteht aus einer mechanischen Pumpe, einer Wurzelpumpe, einer Diffusionspumpe und den entsprechenden Kontrollventilen und Messelementen, die entsprechend den Prozessanforderungen frei zwischen hohem und niedrigem Vakuum wechseln können.
3. Gasversorgungssystem
Das Gasversorgungssystem befindet sich oben in der Akkumulationskammer, und die Gassorten umfassen H2, N2, AR, CHA, C2H2 und SI-haltiges Gas, und zwei Grenzflächen sind oben in der Akkumulationskammer reserviert, um die Zugabe anderer Sorten von Gasen in Zukunft zu erleichtern.
Um die Übergangsschicht zu erhalten, die Sih4 enthält, wird SIH4 normalerweise als Materialgas verwendet, aber SIH4 ist gefährlicher, daher wählen wir das weniger gefährliche Si-haltige Gas als SI-Quelle in der Beschichtungsverarbeitung.
4. Das Stapelzielsystem
The equipment has two stacking units, PVD and PCVD, the primary intention of the PCVD unit is for the accumulation of diamond-like (DLC), the power supply selected is the pulse modulation power supply, the parameters can be adjusted one after another, after the adjustment of the parameters, the DLC coating of different hardness and thickness can be accumulated, and at the same time, after the adjustment of the workpiece card loading mode, Es kann auch auf dem komplexen Werkstück beschichtet werden; Die primären Absichten der PVD-Einheit sind: (1) Für verschiedene Substrate können verschiedene Ziele durch verschiedene Ziele ersetzt werden, und verschiedene Kleberschichten oder Metalldotierten DLC-Beschichtungen, die unterschiedliche Elementsorten enthalten, können entwickelt werden. (2) Nach dem Ersetzen des Ziels können eine Vielzahl von Verbundbeschichtungen von "Funktionsschicht + DLC" für verschiedene Kategorien gebildet werden.
5. Elektrisches Steuerungssystem
Das elektrische Steuerungssystem übernimmt die volle aktive Steuerung von SPS, einschließlich Wirtscomputer, SPS -programmierbarer Controller, Anpassungswandler, Steuerung, Vakuumkontroll -Stromversorgungs- und Messsystem, Luftversorgungsversorgung, Temperaturkontrollsystem, Kühlwasserdetektionskontrollantrieb usw. Bevor der Ofen geöffnet wird, wird der Off. Bagd -Operation wird geöffnet und der Ausrüstungsvorgang wird eingeschaltet. Der Ausrüstungsanweisungen und das Bearbeiten von Ausrüstungsanweisungen. Der Ausrüstungsanweisungen und das Bearbeiten des Aussagens. Der Einsatz wird verankert. Der Einsatz wird verankert. Der Einsatz wird verankert. Der Offizier wird eingeschaltet. Der Offizier wird eingeschaltet. Der Offizieren wird eingehalten. Der Offizier wird eingehalten, und das Ausrüstungsanweisungen und das Einhalten werden verarbeitet. in Echtzeit überwacht. Wenn ein Problem vorliegt, wird das Gerät die Initiative zum Alarm erfolgen, und entsprechend der Alarmstufe wählt das Gerät den Zustand "Warten" aus oder stoppt direkt und arbeitet weiter, nachdem der Alarm ausgeschlossen ist. Die Operationsaufzeichnungen und Alarmaufzeichnungen jedes Ofens werden aktiv im Computer gespeichert, um eine einfache Referenz zu erhalten. Entsprechend den Anforderungen kann die Geräte in den vollständigen Manualbetrieb geändert werden, und die Beschichtungsparameter können während des Beschichtungsprozesses in der Hauptbetriebsschnittstelle eingestellt werden.